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乐橙一个光刻机配件卖6000万中国巨头打破ASML垄断
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乐橙一个光刻机配件卖6000万中国巨头打破ASML垄断

发布时间 :2021-06-22 21:47

  国内第一的芯片代工巨头中芯国际,就是因为无法从ASML那里获得EUV光刻机,所以一直没法突破高端芯片制造,目前成熟的

  其实中国光刻机技术并不算太差。除了荷兰的ASML、日本的佳能和尼康,下来就到中国的上海微电子,他占据国内光刻机80%市场份额。而高端EUV光刻机只有ASML能够生产。

  今天我们要说的不是上海微电子,而是它的重要供应商---华卓精科。工件台和投影物镜、光源并称为光刻机的三大核心子系统,而工件台就是华卓精科的主要产品之一。工件台又分为单工件台和双工件台,两种工件台效率差距非常大,常规的单工件台每小时生产80片,双工件台每小时可以生产270片甚至300片。

  之前,全球只有荷兰的ASML能够生产双工件台,华卓精科成功研发,可以说在光刻机核心部件领域打破了荷兰ASML公司的垄断。据华卓精科透露,即将上市的DWSi系列双工件台每台售价6000万元,这种工件台能够用于浸没式28nm光刻机。从这个价格可以看出,双工件台在光刻机系统里面的重要性。

  作为一家能够生产光刻机核心工件台的企业,华卓精科却没什么名气,这是因为占据全球90%份额的光刻机三巨头ASML、佳能、乐橙尼康都把工件台当成自己的核心技术,为了不让核心技术外泄,他们都选择自己研发工件台,华卓精科没法把工件台销售到国家市场。

  同时这三家巨头也不会对外单独销售工件台。国内光刻机企业只能从华卓精科采购工件台,可以说华卓精科成了中国光刻机的希望。

  光刻机的生产不是靠一家公司就能够完成,它需要靠整个产业链的配件供应成熟。所以即使目前华卓精科生产的双工件台已经能够匹配7nm的精度,但国产光刻机一样只能突破28nm的门限,掣肘光刻机发展的因素太多了。

  要实现芯片国产化的目标,还需要更多的企业加入研发,实现光刻机产业链的整体突破才行。